Publikationen von M. Sode

Sode, M.; Jacob, W.; Schwarz-Selinger, T.; Kersten, H.: Measurement and modeling of neutral, radical, and ion densities in H₂-N₂-Ar plasmas. Journal of Applied Physics 117, 083303 (2015)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Kersten, H.: Surface loss probability of atomic hydrogen for different electrode cover materials investigated in H₂-Ar low-pressure plasmas. Journal of Applied Physics 116, 013302 (2014)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Kersten, H.: Wall loss of atomic nitrogen determined by ionization threshold mass spectrometry. Journal of Applied Physics 116, 193302 (2014)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.: Quantitative determination of mass-resolved ion densities in H₂-Ar inductively coupled radio frequency plasmas. Journal of Applied Physics 113, 093304 (18pp) (2013)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.: Ion chemistry in H₂-Ar low temperature plasmas. Journal of Applied Physics 114, 063302 (16pp) (2013)

Schwarz-Selinger, T.; Sode, M.; Jacob, W.: Quantitative diagnostics of reactive, multi-component low-temperature plasmas. 66th Annual Gaseous Electronics Conference, Princeton, NJ (2013)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Kersten, H.: Quantitative Ionendichtebestimmung mit einem energieauflösenden Massenspektrometer Grenzen und Möglichkeiten. XX. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen, Mühlleithen (2013)

Sode, M.: Quantitative Beschreibung von Argon-Stickstoff-Wasserstoff-Mischplasmen. Seminar "Plasmaphysik und Plasmatechnik", Kiel (2012)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Kersten, H.: Quantitative determination of ion densities in hydrogen-nitrogen-argon low-temerature plasmas. DPG-Frühjahrstagung der Sektion AMOP, Stuttgart (2012)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Kersten, H.: Radikalteilchen im Afterglow von Wasserstoff-Stickstoff-Argon-Plasmen. XIX. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen, Mühlleithen (2012)

Sode, M.: Ion chemistry in argon hydrogen and argon nitrogen inductively coupled plasmas. Seminar "Plasmaphysik und Plasmatechnik", Universität Kiel (2011)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Fantz, U.: Mass resolved ion densities in a hydrogen rare gas inductively coupled plasma. DPG-Frühjahrstagung 2011, Kiel (2011)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.: Teilchendichtecharakterisierung in einem Wasserstoff und Argon- Wasserstoff Plasma. XVIII. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen, Mühlleithen (2011)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Wünderlich, D.; Fantz, U.: Quantitative Bestimmungen der massenaufgelösten Ionenflüsse aus Wasserstoff-Argon-Plasmen. XVII. Erfahrungsaustausch Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen, Mühlleithen (2010)

Sode, M.; Schwarz-Selinger, T.; Jacob, W.; Wünderlich, D.; Fantz, U.: Massenaufgelöste Ionenflüsse aus Wasserstoff-Argon-Niedertemperaturentladungen: Vergleich Experiment - Modell. DPG AMOP Frühjahrstagung, Hannover (2010)

Sode, M.: Quantitative Beschreibung von Wasserstoff-Stickstoff-Argon-Mischplasmen. Dissertation, 220 S., Christian-Albrechts-Universität Kiel, Kiel (2014)

Sode, M.: Quantitative Beschreibung von Wasserstoff-Stickstoff-Argon-Mischplasmen. Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, Garching (2014), 210 S.